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供应高纯气露点变送器PUR-TX
供应高纯气露点变送器PUR-TX
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供应高纯气露点变送器PUR-TX

型号/规格:

PUR-TX

品牌/商标:

英国密析尔

产品信息

PUR-TX 高纯气露点变送器 / 在线露点仪

 

在很多超纯气应用,诸如半导体工业中,气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来,对湿气的持续追踪测量都是个难点,需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案,用来在线测量露点值,下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)

Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出的适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。



亮点

·         测量下限 -120°C 露点 (1 ppb 1/10亿)

·         测量稳定,重复性好

·         高度集成的采样装置

·         模拟和数字输出

·         安装简便

·         VCR 过程接口

·         设计紧凑小巧

·         显示/报警单元可选

 

技术指标

传感器

传感器类型

密析尔陶瓷湿度传感器

量程

-120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)

精度

±1°C   -40 ~ -60°C;
±2°C   -61 ~ -100°C;
±4°C   -101 ~ -120°C (
估算值)

分辨率

0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
1°C           -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C

压力

10-9 torr; 24 MPa

气体流量

1 ~ 5 Nl/min

电气

电源

通常 24 V DC, 10 V ~ 28 V , 电流 25 mA

输出

4-20 mA 输出, 对应范围可由专用软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供)
负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8)

输出出错状态

标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限

机械性能

传感器套筒

不锈钢, 0.1-0.2 Ra μm 电镀内抛光

气路连接端口

Premium OEM : ¼" m VCR 接口
Pura Sensor
: ½" m VCR 接口

安装配置

Premium OEM : 120.00mm , 气路端口的端面密封. 无需预留管路空隙
底座上有 2 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔, 斜对面横竖间距均为 20 x 20mm
Pura Sensor
: 适用于用户提供的 ½" VCR 端口中

尺寸

Premium OEM : 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor
: 132 x 35mm

重量

Premium OEM : 450g
Pura Sensor
: 180g

包装

Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封
Pura OEM
Pura Sensor : 单层包装
所有选配件: 独立包装运输
Sensor
型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作